1、招标条件
项目概况:满足12英寸集成电路生产企业的28nm工艺研发和量产要求，用于快速热退火&快速热氧化设备
满足12英寸集成电路生产企业的28nm工艺研发和量产要求，用于尖峰快速退火&快速热退火设备
满足12英寸集成电路生产企业的28nm工艺研发和量产要求，用于快速热退火（硅化物）设备
满足12英寸集成电路生产企业的28nm工艺研发和量产要求，用于原位水蒸气生成氧化设备
满足12英寸集成电路生产企业的28nm工艺研发和量产要求，用于原位水蒸气生成氧化层（浅沟槽隔离衬垫生长）设备
满足12英寸集成电路生产企业的28nm工艺研发和量产要求，用于去藕合电离子体氮化＆氮化後退火设备
满足12英寸集成电路生产企业的28nm工艺研发和量产要求，用于等离子体增强原子层氧化硅薄膜化学气相沉积设备
资金到位或资金来源落实情况:现招标人资金已到位，具备了招标条件。
项目已具备招标条件的说明:现招标人资金已到位，具备了招标条件。
2、招标内容
招标项目编号:0613-174022084612/07
招标项目名称:上海华力集成电路制造有限公司等离子体增强原子层氧化硅薄膜化学气相沉积设备
项目实施地点:中国上海市
招标产品列表(主要设备):
| 序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
| 1 | 快速热退火&快速热氧化设备 | 1台 | 满足12英寸集成电路生产企业的28nm工艺研发和量产要求，用于快速热退火&快速热氧化设备 | |
| 2 | 尖峰快速退火&快速热退火设备 | 1台 | 满足12英寸集成电路生产企业的28nm工艺研发和量产要求，用于尖峰快速退火&快速热退火设备 | |
| 3 | 快速热退火（硅化物）设备 | 1台 | 满足12英寸集成电路生产企业的28nm工艺研发和量产要求，用于快速热退火（硅化物）设备 | |
| 4 | 原位水蒸气生成氧化层设备 | 1台 | 满足12英寸集成电路生产企业的28nm工艺研发和量产要求，用于原位水蒸气生成氧化设备 | |
| 5 | 原位水蒸气生成氧化层（浅沟槽隔离衬垫生长）设备 | 1台 | 满足12英寸集成电路生产企业的28nm工艺研发和量产要求，用于原位水蒸气生成氧化层（浅沟槽隔离衬垫生长）设备 | |
| 6 | 去藕合电离子体氮化＆氮化後退火设备 | 2台 | 满足12英寸集成电路生产企业的28nm工艺研发和量产要求，用于去藕合电离子体氮化＆氮化後退火设备 | |
| 7 | 等离子体增强原子层氧化硅薄膜化学气相沉积设备 | 1台 | 满足12英寸集成电路生产企业的28nm工艺研发和量产要求，用于等离子体增强原子层氧化硅薄膜化学气相沉积设备 |
3、投标人资格要求
投标人应具备的资格或业绩:1）投标人应为符合《中华人民共和国招标投标法》规定的独立法人或其他组织；
2）投标人或投标货物的制造商须具备向12英寸集成电路制造企业提供此类设备的供货和安装调试经验；
3) 法律、行政法规规定的其他条件。
是否接受联合体投标:不接受
未领购招标文件是否可以参加投标:不可以
4、招标文件的获取
招标文件领购开始时间:2017-12-23
招标文件领购结束时间:2017-12-29
是否在线售卖标书:否
获取招标文件方式:现场领购
招标文件领购地点：上海市长寿路285号恒达广场16楼（上海机电设备招标有限公司）
招标文件售价:￥1000/$150
5、投标文件的递交
投标截止时间（开标时间）:2018-01-15 09:30
投标文件
项目负责人：李阳（女士）
手机：13683233285
电话：010-51957458
QQ：1211306049
邮件：1211306049@qq.com
