序号 |
类型 |
名称 |
数量 |
单位 |
备注 |
1 |
备品备件 |
三相异步电动机 |
1 |
套 |
硅片脱胶机、工件板脱胶机不同型号各1个 |
气动阀 |
1 |
套 |
硅片脱胶机、工件板脱胶机不同型号各1个 |
气管快速接头 |
5 |
套 |
硅片脱胶机、工件板脱胶机所有使用气管快速接头各5个 |
液位传感器 |
5 |
套 |
硅片脱胶机、工件板脱胶机所有使用液位传感器各5个 |
电磁阀(气阀) |
1 |
套 |
硅片脱胶机、工件板脱胶机不同型号电磁阀(气阀)各1个 |
电磁阀(水阀) |
1 |
套 |
硅片脱胶机、工件板脱胶机不同电磁阀(水阀)型号各1个 |
光电开关 |
1 |
套 |
硅片脱胶机、工件板脱胶机所用光电开关各1个 |
接近开关 |
1 |
套 |
硅片脱胶机、工件板脱胶机不同型号各1个 |
伺服电机及伺服驱动器 |
1 |
套 |
硅片脱胶机、工件板脱胶机设备各型电机及驱动器各1个 |
易耗件 |
加热器 |
2 |
套 |
硅片脱胶机、工件板脱胶机所用不同型号加热器各2个 |
过滤芯 |
8 |
套 |
硅片脱胶机、工件板脱胶机不同型号各8个 |
备注 |
备品备件和易耗件为质保期外所需数量,质保期内不满足使用,厂家免费提供。 |
(4)专用工器具:无。