1、招标条件
项目概况:用于12英寸集成电路生产企业，满足28nm及以下工艺研发及量产时硅片存放需求。
用于12英寸集成电路生产企业的光刻工艺，满足28nm以下的工艺研发及量产需求。
用于12英寸集成电路生产企业的光刻工艺，满足28nm及以下的工艺研发及量产用RSP的存储需求。
用于12英寸集成电路生产企业，满足28nm及以下工艺研发及量产FOUP的清洗需求。
用于12英寸集成电路生产企业的光刻工艺，满足28nm及以下的掩模板的搬送需求。
资金到位或资金来源落实情况:现招标人资金已到位，具备了招标条件。
项目已具备招标条件的说明:现招标人资金已到位，具备了招标条件。
2、招标内容
招标项目编号:0613-184022080126/03
招标项目名称:上海华力集成电路制造有限公司带吹扫功能的光罩存储装置
项目实施地点:中国上海市
招标产品列表(主要设备):
| 序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
| 1 | 硅片存储盒 | 4000只 | 用于12英寸集成电路生产企业，满足28nm及以下工艺研发及量产时硅片存放需求。 | |
| 2 | 带吹扫装置的光罩存储盒 | 1680只 | 用于12英寸集成电路生产企业的光刻工艺，满足28nm以下的工艺研发及量产需求。 | |
| 3 | 带吹扫功能的光罩存储装置 | 1台 | 用于12英寸集成电路生产企业的光刻工艺，满足28nm及以下的工艺研发及量产用RSP的存储需求。 | |
| 4 | 硅片存储盒清洗机 | 2台 | 用于12英寸集成电路生产企业，满足28nm及以下工艺研发及量产FOUP的清洗需求。 | |
| 5 | 光罩倒片机 | 1台 | 用于12英寸集成电路生产企业的光刻工艺，满足28nm及以下的掩模板的搬送需求。 |
3、投标人资格要求
投标人应具备的资格或业绩:1）投标人应为符合《中华人民共和国招标投标法》规定的独立法人或其他组织；
2）投标人或投标货物的制造商须具备向12英寸集成电路制造企业提供此类设备10台以上的供货和安装调试经验；
3) 法律、行政法规规定的其他条件。
是否接受联合体投标:不接受
未领购招标文件是否可以参加投标:不可以
4、招标文件的获取
招标文件领购开始时间:2018-01-26
招标文件领购结束时间:2018-02-02
是否在线售卖标书:否
获取招标文件方式:现场领购
招标文件领购地点：上海市长寿路285号恒达广场16楼（）
招标文件售价:￥1000/$150
5、投标文件的递交
投标截止时间（开标时间）:2018-02-22 09:30
投标文件
项目负责人：李阳（女士）
手机：13683233285
电话：010-51957458
QQ：1211306049
邮件：1211306049@qq.com
