1、招标条件
项目概况:中芯集成电路制造（绍兴） 计划为中芯绍兴特种晶圆工艺生产线项目购买一批工艺生产设备
资金到位或资金来源落实情况:资金已到位
项目已具备招标条件的说明:项目已具备招标条件
2、招标内容
招标项目编号:0613-184022151750/02
招标项目名称:中芯绍兴特种晶圆工艺生产线项目（第四批）等离子体多晶硅刻蚀机
项目实施地点:中国浙江省
招标产品列表(主要设备):
| 序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
| 1 | 包件1：晶圆自动光学检测机 | 晶圆自动光学检测机 1台 | 1.IR function 2.可以抓取150um~400um厚度的晶元。 3.实现带frame 和非frame 晶元的扫描。 | |
| 2 | 包件2：等离子体多晶硅刻蚀机 | 等离子体多晶硅刻蚀机 2台 | 1.实现多晶硅刻蚀要求etch rate >1500A/min 2.主刻蚀比氧化层选择比大于150:1 3.Chamber 与chamber 差异小于5%。 | |
| 3 | 包件3：背面晶圆减薄机 | 背面晶圆减薄机 1台 | 实现晶圆背面减薄，达到厚度及均匀性指标 | |
| 4 | 包件4：离子注入机 | 离子注入机 2台 | 把气体离子化，并且注入到硅片中，达到要求的深度和均匀度的指标 |
3、投标人资格要求
投标人应具备的资格或业绩:1）具有独立的法人资格，相应的经营范围。投标方应具有正规注册的办事处、维修站及零备件保税库。在中国境内应有专门负责的经验丰富的维修工程师和专门的技术应用支持工程师。2）投标人提供的设备需要在业界有安装使用的经验
是否接受联合体投标:不接受
未领购招标文件是否可以参加投标:不可以
4、招标文件的获取
招标文件领购开始时间:2018-05-29
招标文件领购结束时间:2018-06-05
是否在线售卖标书:否
获取招标文件方式:现场领购
招标文件领购
项目负责人：李阳（女士）
手机：13683233285
电话：010-51957458
QQ：1211306049
邮件：1211306049@qq.com
