1、招标条件
项目概况:包1 自动曝光机 8
包2 匀胶机 7
包3 显影机 12
包4品目1 去胶清洗机 14
包4品目2 去蜡清洗设备 2
包5品目1 ACE清洗机(4槽) 2
包5品目2 ACE清洗机(2槽) 1
包5品目3 酸类清洗机 1
包5品目4 酸类清洗机 1
包5品目5 酸类清洗机 1
包5品目6 酸类清洗机 1
包5品目7 酸类清洗机 1
包5品目8 去蜡清洗设备 1
包6 旋干机 12
包7 旋干机 20
包8 自动干法刻蚀机 11
包9 ITO溅射镀膜机 3
包10 快速退火炉 9
包11 电子束蒸发机 10
包12 合金炉管 4
包13 等离子体增强化学沉积机台 19
包14 分布式布拉格反射镜 3
包15 等离子去胶机 15
包16 膜厚仪器 2
包17 金相显微镜 9
包18 全自动目检机COW 7
包19 金属溅射镀膜机 2
包20 椭偏仪 1
包21品目1 高温老化试验机 2
包21品目2 常温老化试验机 2
包21品目3 高压老化电流源 3
包22 自动推力机 2
包23品目1 氮气纯化器 3
包23品目2 氢气纯化器 2
包23品目3 氨气纯化器 8
资金到位或资金来源落实情况:已到位
项目已具备招标条件的说明:已具备
2、招标内容
招标项目编号:0664-1840SUMECK68/15
招标项目名称:等离子去胶机
项目实施地点:中国福建省
招标产品列表(主要设备):
| 序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
| 包1 | 自动曝光机 | 8 | 单台月产能大于70000片，计算方法：WPH*24*30*0.85(系数) (含套刻产能：5秒曝光时间，及基片厚度补偿时间) | |
| 包2 | 匀胶机 | 7 | 产能：单台月产能≥56000片 单台月产能计算公式：WPH(一小时产量)*24 *30 *0.85(系数) ≥56000片 | |
| 包3 | 显影机 | 12 | 显影CUP单元≥4组 | |
| 包4品目1 | 去胶清洗机 | 14 | 制程槽：SPR *2、IPA *1、QDR | |
| 包4品目2 | 去蜡清洗设备 | 2 | 去蜡清洗设备必须手动自动可切换操作 | |
| 包5品目1 | ACE清洗机(4槽) | 2 | 制程槽：ACE *4、QDR*4 | |
| 包5品目2 | ACE清洗机(2槽) | 1 | 制程槽：ACE *2、QDR*2 | |
| 包5品目3 | 酸类清洗机 | 1 | 制程槽：BOE*2 、ITO*2 、QDR*4 | |
| 包5品目4 | 酸类清洗机 | 1 | 制程槽：BOE *4,QDR*4 | |
| 包5品目5 | 酸类清洗机 | 1 | 制程槽：511*2 、HCL*2 、HQDR*2,QDR*2 | |
| 包5品目6 | 酸类清洗机 | 1 | 制程槽： 511 *4,HQDR*4 | |
| 包5品目7 | 酸类清洗机 | 1 | 制程槽： 511 *2,HQDR*2 | |
| 包5品目8 | 去蜡清洗设备 | 1 | 管路系统配置于设备后下方之管路区 | |
| 包6 | 旋干机 | 12 | 机台马达需采用无碳刷直流马达 | |
| 包7 | 旋干机 | 20 | 机台马达需采用无碳刷直流马达 | |
| 包8 | 自动干法刻蚀机 | 11 | 单台两套ICP工艺腔室 | |
| 包9 | ITO溅射镀膜机 | 3 | 靶材与衬底之间有挡板保护 。 | |
| 包10 | 快速退火炉 | 9 | 芯片承载盘(SiC) ：SiC材料可放置4吋晶片9片 及以上 | |
| 包11 | 电子束蒸发机 | 10 | 蒸发源坩埚材质：钨 ，蒸镀过程相邻坩埚不会互相污染。 | |
| 包12 | 合金炉管 | 4 | 可加工管数 ：3个以上 | |
| 包13 | 等离子体增强化学沉积机台 | 19 | 气体流量计包括但不限于SiH4, N2O, O2, NH3, CF4, N2气体。 | |
| 包14 | 分布式布拉格反射镜 | 3 | 射频中和器：最大射频功率：150W 最大中和電流：2800mA | |
| 包15 | 等离子去胶机 | 15 | 生产治具： 一用一备 | |
| 包16 | 膜厚仪器 | 2 | 测量厚度：5nm~40um | |
| 包17 | 金相显微镜 | 9 | 最大可放置样品高度:90mm，实现更大高度样品观察； | |
| 包18 | 全自动目检机COW | 7 | 可用于4英寸晶片尺寸使用，同时兼容6寸 | |
| 包19 | 金属溅射镀膜机 | 2 | 具有单独DC，单独RF电源 | |
| 包20 | 椭偏仪 | 1 | 微光斑 ：最小尺寸≤300um X 900um。 | |
| 包21品目1 | 高温老化试验机 | 2 | 配LED PCB专用测试排线(含耐高温连接器，最高耐温不小于200度） | |
| 包21品目2 | 常温老化试验机 | 2 | 配LED PCB专用测试排线(含耐高温连接器，最高耐温不小于150度） | |
| 包21品目3 | 高压老化电流源 | 3 | 试验数据可以保存于PC 机中，便于调用，可输出试验报表，绘制数据变化 曲线。 | |
| 包22 | 自动推力机 | 2 | 用途：适用于2寸片、4寸片及6寸片推力及拉力作业，以验证电极结合度状况 | |
| 包23品目1 | 氮气纯化器 | 3 | 纯化对象及纯化后纯度：氮气/99.9999999% | |
| 包23品目2 | 氢气纯化器 | 2 | 纯化对象及纯化后纯度：氢气/99.9999999% | |
| 包23品目3 | 氨气纯化器 | 8 | 纯化对象及纯度：NH3/99.9999999% |
3、投标人资格要求
投标人应具备的资格或业绩:1、投标人如为代理商，则必须提供企业法人营业执照副本； 2、投标人如为代理商，则必须提供制造商授权函 3、投标人 如果投标文件直接由单位负责人签署，则不需要授权书。
是否接受联合体投标:不接受
未领购招标文件是否可以参加投标:不可以
4、招标文件的获取
招标文件领购开始时间:2018-09-25
招标文件领购结束时间:2018-09-30
是否在线售卖标书:否
获取招标文件方式:现场领购
招标文件领购 招标文件售价:￥800/$120
5、投标文件的递交
投标截止时间 :2018-10-16 09:30
投标文件未曾在中国电力招标采购网（www.dlztb.com）上注册会员的单位应先注册。登录成功后根据招标公告的相说明下载投标文件！
项目 联系人：李杨
咨询电话：010-51957458
传真：010-51957412
手机：13683233285
QQ:1211306049
微信：Li13683233285 邮箱：1211306049@qq.com
备注：欲购买招标文件的潜在投标人,注册网站并缴纳因特网技术服务费后，查看项目业主，招标公告，中标公示等，并下载资格预审范围，资质要求，招标清单，报名申请表等。为保证您能够顺利投标，具体要求及购买标书操作流程按公告详细内容为准，以招标业主的解答为准本。
编辑：chinabidd
