| 采购条目编号 | 采购条目名称 | 数量 | 产地类型 | 预算金额 （人民币/元） | ||||
| 赣购2019B000213114 | 聚焦离子束系统 | 1套 | 国外 | 6350000.00 | ||||
| 采购清单及技术简要说明（具体清单详见招标文件） | ||||||||
| 序号 | 名称 | 数量 | 单位 | 简要规格描述 | ||||
| 1 | 聚焦离子束系统 | 1 | 套 | 1 离子束及辅助气体注入系统技术要求 1.1 离子束系统： 1.1.1 离子源种类：液态Ga离子源。 1.1.2交叉点分辨率：3.0nm @ 30kV (采用统计平均值法测量)。 1.1.3加速电压：最低加速电压500V, 最高加速电压为30 kV。 1.2 辅助气体注入系统： 1.2.1拥有独立的分离式气体注入系统，可重新配置。 1.2.2具备金属沉积系统，可在离子束、电子束诱导下进行Pt等金属的沉积；具备碳沉积系统，可进行碳沉积。 2 电子束技术要求 2.1 电子枪类型：肖特基（ZrO/W）场发射灯丝。 2.1.1分辨率：￡0.8nm@30kV(STEM)；￡1.0nm @ 15kV；￡1.3nm @ 1kV。 3 可用探头： 3.1高真空模式下二次电子探测器。 3.2极靴内探测器二次电子探测器。 4 样品台 4.1 五轴马达驱动样品台。 4.2 样品室红外CCD相机。 5样品室 5.1样品室内径 >370mm。 5.2大于20个附件/ 探测器接口。 6原位样品自动提出系统 6.1 集成纳米机械手，XYZR全自动纳米机械手，最小步长≤100nm，旋转角度≤0.2°。该机械手须与主机为同一生产厂家生产（后期须进行维护保养），电镜观察和机械手控制由同一电脑同一软件完成，可边操纵边观察。 7 真空系统 7.1由机械干泵，磁悬浮涡轮分子泵和离子泵构成。 7.2 样品室真空度：<6 X 10-6mBar (连续24小时抽真空后)。 8 图形发生器 8.1 图形发生器扫描频率不低于6MHz，最小停留时间不大于167ns。 8.2 配备用于X和Y方向束偏转的两块高速数据收集和控制系统（16位）。 9 其他配件 9.1空压机和冷却循环水系统（均须为原厂配备），冷却SEM镜筒及其它部件。 9.2Windows 操作系统，64位图形用户界面，键盘，鼠标及用户界面。 10 软件功能 10.1具备程序制定、改造软件，能控制镜筒，探测器，样品台等的运作模式。 10.2智能扫描功能。 11离子束实验室环境控制系统 11.1 独立减振系统：主机所在区域（33m*3m）下挖30.5米，底层为缓冲垫层，砌筑挡土层，防水防潮处理，上方混凝土整体浇筑地基，为聚焦离子束主机专用独立隔振基台。 11.2 单独接地系统：接地电阻￡2Ω。 | ||||
项目 联系人：李杨
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来源：中国电力招标采购网 编辑：jxsggz
