1、招标条件
项目概况:项目名称: 株洲中车时代电气股份 全自动膜厚测量仪、自动颗粒测量仪、全自动套刻精度量测设备、注入剂量检测设备及服务采购项目；
招标货物 全自动膜厚测量仪，数量2台；
自动颗粒测量仪，1台；
全自动套刻精度量测设备(Overlay)，1台；
注入剂量检测设备，1台；
全自动膜厚测量仪： 该设备采用椭偏加反射方法，能实现全自动测量方式，自动硅片传输处理，自动测量和分析，数据自动map和存储和自动校准等；能够对SiO2膜，多晶硅膜、BPSG、氮化硅、光刻胶膜等单层或多层薄膜进行无损自动测量；能对直径8英寸的硅片进行膜厚及其均匀性测量 ；能够对折射率n、消光系数k等薄膜特性参数进行测量和分析。
自动颗粒检测仪主要技术参数：用于200mm硅片表面颗粒自动检测，设备需要能够抓取到0.1μm及以下的缺陷，对于不同的缺陷进行自动分类、统计，并可以显示出缺陷分布图。
全自动套刻精度量测设备(Overlay)：用于半导体制造硅片光刻工艺中，前后层图形套刻精度量测的设备，该套刻精度测量设备能够将检测结果分析并反馈给曝光机进行自动校正。
注入剂量检测设备：该设备用于200mm芯片制造离子注入工艺后的监控 ，可以满足Pattern Wafer与Monitor wafer测试要求。
本项目所有招标设备不分散中标。
详见招标文件第八章货物需求一览表及技术规格。
交货时间：收到中标通知后6个月内卖方工厂发货；
指定到货
3、投标人资格要求
投标人应具备的资格或业绩:投标人具有所投设备的制造或销售资格，其他详见第八章货物需求一览表及技术规格
是否接受联合体投标:不接受
未领购招标文件是否可以参加投标:不可以
4、招标文件的获取
招标文件领购开始时间:2019-11-28
招标文件领购结束时间:2019-12-05
是否在线售卖标书:否
获取招标文件方式:现场领购
招标文件领购
5、投标文件的递交
投标截止时间 :2019-12-19 10:00
投标文件 未曾在中国电力招标采购网（www.dlztb.com）上注册会员的单位应先注册。登录成功后根据招标公告的相说明下载投标文件！
项目 联系人：李杨
咨询电话：010-51957458
传真：010-51957412
手机：13683233285
QQ:1211306049
微信：Li13683233285 邮箱：1211306049@qq.com
备注：欲购买招标文件的潜在投标人,注册网站并缴纳因特网技术服务费后，查看项目业主，招标公告，中标公示等，并下载资格预审范围，资质要求，招标清单，报名申请表等。为保证您能够顺利投标，具体要求及购买标书操作流程按公告详细内容为准，以招标业主的解答为准本。
编辑：chinabidd