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感应耦合等离子体增强化学气相沉积系统-招标公告

   日期:2021-03-09     来源:中国电力招标采购网    作者:dlztb    浏览:3    
核心提示:感应耦合等离子体增强化学气相沉积系统-招标公告(招标编号:0779-21400316A008)招标项目所在地区::0779-21400316A008),已由
感应耦合等离子体增强化学气相沉积系统-招标公告
(招标编号:0779-21400316A008)

招标项目所在地区:0779-21400316A008),已由项目审批/核准/备案机关批准,项目资金来源为/, 本项目已具备招标条件,现进行公开招标

二、项目概况和招标范围

项目规模:/

招标内容与范围:本招标项目划分为标段1 个标段,本次招标为其中的:

001 第1包

三、投标人资格要求

001 第1包:

1 投标人具有独立法人资格,提供有效的营业登记等许可经营的证明文件。
2 本次招标接受代理商投标,代理商必须获得制造商的合法授权,提供授权书。
3 本次招标要求所投产品制造商2018年至今订不少于2台(套)感应耦合等离子体化学气相沉积系统供货合同,提供合同复印件作为证明。
4本次招标不接受联合体投标。
5投标人必须向招标代理机构

本项目不允许联合体投标。

四、招标文件的获取

获取时间:2021年03月08日09时00分00秒---2021年03月15日17时00分00秒

五、投标文件的递交

递交截止时间:2021年03月30日09时30分00秒

六、开标时间及地点

开标时间:2021年03月30日09时30分00秒

开标地点及方式:/

七、其他公告内容

感应耦合等离子体增强化学气相沉积系统项目已具备招标条件。资金来源自筹资金。中科信工程咨询(北京) (招标代理机构)受中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所(招标人)的委托,对该项目进行国际公开招标采购。

1. 招标范围

1.1 货物

1.2 招标编号:0779-21400316A008

1.3 设备组成与技术性能:

1.3.1 设备组成

设备主要由以下几部分组成:反应腔、下电极、上电极(ICP源)、射频源、真空系统、预真空室、气路系统、控制系统与软件、配套附件等。

1.3.2 技术性能

1.3.2.1 反应腔

1上、下电极之间的距离可电动调节、以优化工艺;

2)反应腔采用双层进气,配置单独的SiH4进气环。

1.3.2.2下电极

样品尺寸:最大8英寸直径晶圆、向下兼容更小的晶圆片或不规则碎片;不同尺寸样片之间的切换,无需开腔、无需破真空。

1.3.2.3上电极(ICP源)

采用平板式天线等离子体密度可到1E12 cm-3

1.4 数量:1台(套)。

1.5 交货期:合同签订后6个月内交货。

1.6 项目现场:中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所。

2. 对投标人的资格要求

2.1 投标人具有独立法人资格,提供有效的营业登记等许可经营的证明文件。

2.2 本次招标接受代理商投标,代理商必须获得制造商的合法授权,提供授权书。

2.3 本次招标要求所投产品制造商2018年至今订不少于2台(套)感应耦合等离子体化学气相沉积系统供货合同,提供合同复印件作为证明。

2.4本次招标不接受联合体投标。

2.5投标人必须向招标代理机构

3. 招标文件获取

3.1 支付成功后在航空工业电子采购平台电子招投标专区自行下载招标文件。

3.3 投标人必须在航空工业电子采购平台电子招投标专区注册,办理CA数字证书与电子签章,否则无法投标。(详见航空工业电子采购平台电子招投标专区相关说明)。

4. 投标文件的递交

4.1投标文件递交的截止时间(投标截止时间,下同)为202103300930分,投标人必须在此时间前将加密的电子版投标文件传至航空工业电子采购平台电子招投标专区( /rest/index)并在此时间前现场递交单独密封的纸质版投标文件。

4.2 纸质版投标文件递交地点为 大楼一层会议室。逾期送达的、未送达指定地点的或者不按照招标文件要求密封的投标文件,招标人将予以拒收。

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备注:非正式会员请联系办理会员入网注册事宜,并缴费成为正式会员后登录网站会员区可查看招标公告、招名方式或下载报名表格等详细内容!为保证您能够顺利投标,具体要求及购买标书操作流程按公告详细内容为准。

咨询联系人:李工
咨询电话:010-51957458
传真:010-51957412
手机:13683233285
QQ:1211306049
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来源:中国电力招标采购网 编辑:365trade.co

 
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