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序号
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货物名称
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数量
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简要技术规格
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交货期
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交货地点
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扫描电镜样品制备系统
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1
批
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如下
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合同签订后3
个月内
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关境外货物：
CIP
上海交通大学指定地点
关境内货物：
上海交通大学指定地点
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1
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离子清洗仪 （扫描电镜用）
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1台
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1.1.3.2最大功率≥300 W，无极连续可调。
（详见第八章）
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2
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高真空镀膜仪
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1台
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1.2.1.1 极限真空度：≤3×10
-6
mbar。
（详见第八章）
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3
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离子束切割仪
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1台
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1.3.1.2离子枪电压调节：1-10 kV。
（详见第八章）
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4
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精研一体机
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1台
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1.4.4.2工具前进步径：0.5-100 μm，可调。
（详见第八章）
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