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中国原子能科学研究院ICP工艺系统采购招标公告

   日期:2021-09-13     来源:中国电力招标采购网    作者:dlztb    浏览:9    
核心提示:中国原子能科学研究院ICP工艺系统采购招标公告1 招标条件本招标项目中国原子能科学研究院ICP工艺系统采购已审批,资金来源已落实
中国原子能科学研究院ICP工艺系统采购

招标公告

1 招标条件

本招标项目中国原子能科学研究院ICP工艺系统采购已审批,资金来源已落实。

2 项目概况与招标范围

2.1 招标编号

CNSC-21401Y021729

2.2 招标项目名称

中国原子能科学研究院ICP工艺系统采购

2.3 招标项目概括

本项目对一套ICP刻蚀工艺系统进行非标研发,用于φ50~200mm尺寸规格的GaN、SiO2、SiNx材料晶圆的多功能刻蚀。

2.4 招标范围

ICP刻蚀工艺系统一套,系统需采用模块化设计,包括工艺模块、传输模块和软件智能操控,可实现对腔室内等离体密度的均匀控制,φ50~200mm尺寸规格的GaN、SiO2、SiNx材料晶圆的多功能刻蚀工艺要求。

交付成果包括:(1)ICP刻蚀工艺系统装置实物;(2)相关技术文件、设计说明书、图册和报告等;(3)质保资料:质量计划;出厂证明;合格证;装箱单。

2.5 交货地点

北京市中国原子能科学研究院院内指定位置。

2.6 交货期

(1)合同签订后15个工作日内,提交系统设计图册及工艺开发方案。

(2)合同签订后90天内,完成系统硬件和工艺流程的源地验收。

(3)合同签订后120天内,完成系统现场安装调试、合格鉴定及交付验收。

2.7 质量标准

质保期:

ICP刻蚀工艺系统的质保期为自项目验收合格起2年;

质保期内厂商应免费保修,非人为因素引起的仪器损坏由厂商免费负责维修;并终身提供技术服务。

3 投标人资格要求

3.1 本次招标投标人应满足以下要求:

(1)在中华人民共和国境内拥有合法经营权力,具有独立的法人资格,符合国家有关规定,有资格和能力完成本招标项目的相关人员、设备、财务、技术能力。

(2)投标人应遵守中华人民共和国法律、法规以及相关行业的规定。

(3)财务状况:投标人须有良好的银行信用和商业信誉,不得处于破产、停业、财产被接收或冻结等任何不利于合同目的实现的情形,财务状况良好。

(4)本项目不接受代理商投标。

(5)近三年投标人至少具有一个类似项目供货业绩,投标时须提供业绩证明材料并盖公章。

(6)本项目不接受联合体投标。

3.2 本次招标不接受联合体投标

4 招标文件的获取

4.1 招标文件售价:本项目共1个包,招标文件售价人民币包1:中国原子能科学研究院ICP工艺系统采购售价:500.00元整,售后款项不予退还。

招标代理机构收款 开户 收款

未曾在中国电力招标采购网(www.dlztb.com)上注册会员的单位应先注册。登录成功后根据招标公告的相说明下载招标文件!

项目 联系人:李工  
咨询电话:010-51957458 
传真:010-51957412 
手机:18811547188 
QQ:1211306049 
微信:Li13683233285 邮箱:1211306049@qq.com

备注:欲购买招标文件的潜在投标人,注册网站并缴纳因特网技术服务费后,查看项目业主,招标公告,中标公示等,并下载资格预审范围,资质要求,招标清单,报名申请表等。为保证您能够顺利投标,具体要求及购买标书操作流程按公告详细内容为准,以招标业主的解答为准本。

来源:中国电力招标采购网 编辑:ecp.cnnc
 
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