1 招标条件
本招标项目中国原子能科学研究院ICP工艺系统采购已审批，资金来源已落实。2 项目概况与招标范围
2.1 招标编号
CNSC-21401Y0217292.2 招标项目名称
中国原子能科学研究院ICP工艺系统采购2.3 招标项目概括
本项目对一套ICP刻蚀工艺系统进行非标研发，用于φ50~200mm尺寸规格的GaN、SiO2、SiNx材料晶圆的多功能刻蚀。2.4 招标范围
ICP刻蚀工艺系统一套，系统需采用模块化设计，包括工艺模块、传输模块和软件智能操控，可实现对腔室内等离体密度的均匀控制，φ50~200mm尺寸规格的GaN、SiO2、SiNx材料晶圆的多功能刻蚀工艺要求。 交付成果包括：（1）ICP刻蚀工艺系统装置实物；（2）相关技术文件、设计说明书、图册和报告等；（3）质保资料：质量计划；出厂证明；合格证；装箱单。2.5 交货地点
北京市中国原子能科学研究院院内指定位置。2.6 交货期
（1）合同签订后15个工作日内，提交系统设计图册及工艺开发方案。 （2）合同签订后90天内，完成系统硬件和工艺流程的源地验收。 （3）合同签订后120天内，完成系统现场安装调试、合格鉴定及交付验收。2.7 质量标准
质保期： ICP刻蚀工艺系统的质保期为自项目验收合格起2年； 质保期内厂商应免费保修，非人为因素引起的仪器损坏由厂商免费负责维修；并终身提供技术服务。3 投标人资格要求
3.1 本次招标投标人应满足以下要求：
（1）在中华人民共和国境内拥有合法经营权力，具有独立的法人资格，符合国家有关规定，有资格和能力完成本招标项目的相关人员、设备、财务、技术能力。 （2）投标人应遵守中华人民共和国法律、法规以及相关行业的规定。 （3）财务状况：投标人须有良好的银行信用和商业信誉，不得处于破产、停业、财产被接收或冻结等任何不利于合同目的实现的情形，财务状况良好。 （4）本项目不接受代理商投标。 （5）近三年投标人至少具有一个类似项目供货业绩，投标时须提供业绩证明材料并盖公章。 （6）本项目不接受联合体投标。3.2 本次招标不接受联合体投标
4 招标文件的获取
4.1 招标文件售价：本项目共1个包，招标文件售价人民币包1:中国原子能科学研究院ICP工艺系统采购售价:500.00元整，售后款项不予退还。
招标代理机构收款 开户 收款 未曾在中国电力招标采购网（www.dlztb.com）上注册会员的单位应先注册。登录成功后根据招标公告的相说明下载招标文件！项目 联系人：李工
咨询电话：010-51957458
传真：010-51957412
手机：18811547188
QQ:1211306049
微信：Li13683233285 邮箱：1211306049@qq.com
备注：欲购买招标文件的潜在投标人,注册网站并缴纳因特网技术服务费后，查看项目业主，招标公告，中标公示等，并下载资格预审范围，资质要求，招标清单，报名申请表等。为保证您能够顺利投标，具体要求及购买标书操作流程按公告详细内容为准，以招标业主的解答为准本。
来源：中国电力招标采购网 编辑：ecp.cnnc