项目概况
华东师范大学反应离子束刻蚀系统、感应耦合等离子体增强化学气相沉积系统项目 招标项目的潜在投标人应在上海市虹口区四平路200号盛泰国际大厦606室获取招标文件，并于2022年03月30日 09点30分 13.56MHz，带自动匹配单元；★3.2、ICP源发生器：最大功率3000瓦，2.0MHz，带自动匹配单元；
包件2：感应耦合等离子体增强化学气相沉积系统；
数量及
简要技术参数：
★1、SiO2的标准沉积速率：≥40 nm/min；高速沉积速率：≥500 nm/min
2、SiO2薄膜沉积厚度：≥6um。
其余详见本项目招标文件。
合同履行期限：自合同签订之日起250天内；
本项目( 不接受 )联合体投标。
二、申请人的资格要求：
1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定；
2.落实政府采购政策需满足的资格要求：
本项目为机电产品国际招标项目，相关法规与政策均按照《机电产品国际招标投标实施办法（试行）》执行。
3.本项目的特定资格要求：1）投标人为制造商须提供制造商资格声明函（见格式 IV-9-2）；投标人为代理商时，须提供资格声明函（见格式 IV-9-3）及制造商针对本项目授权函（见格式 IV-9-4）； 2）投标人
三、获取招标文件
时间：2022年03月09日 至 2022年03月16日，每天上午9:30至11:30，下午13:00至16:00。 法定节假日除外）
售价：￥500.0 元，本公告包含的招标文件售价总和
四、提交投标文件截止时间、开标时间和地点
提交投标文件截止时间：2022年03月30日 09点30分（北京时间）
开标时间：2022年03月30日 09点30分（北京时间）
六、
未曾在中国电力招标采购网（www.dlztb.com）上注册会员的单位应先注册。登录成功后根据招标公告的相关说明下载招标文件！项目 联系人：李杨
咨询电话：010-51957458
传真：010-51957412
手机：18811547188
QQ:1211306049
备注：欲购买招标文件的潜在投标人,注册网站并缴纳因特网技术服务费后，查看项目业主，招标公告并下载资格预审范围，资质要求，招标清单，报名申请表等。为保证您能够顺利投标，具体要求及购买标书操作流程按会员区招标信息详细内容为准，以招标业主的解答为准本。
来源：中国电力招标采购网 编辑：mof.go