项目概况
清华大学等离子体刻蚀机采购项目 招标项目的潜在投标人应在发售网简要技术指标 ：
真空系统：★分子泵抽速≥1300L/s，干泵抽速≥100m3/h；
下电极：★满足8英寸样品刻蚀需要，更小样品或碎片可贴片装载；
软件和控制系统：★自主版权的软件，windows操作系统软件；
机台工艺能力：★主要用于刻蚀薄膜铌酸锂材料、介质材料等。
合同履行期限：合同签订后6个月内交货
本项目( 不接受 )联合体投标。
二、申请人的资格要求：
1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定；
2.落实政府采购政策需满足的资格要求：
扶持小微企业、监狱企业、残疾人福利性企业发展，优先采购节能产品、环境标志产品等
3.本项目的特定资格要求：1）在中华人民共和国境内注册；2）符合《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定的条件；3）通过“信用中国”网站 和中国 查询信用记录（截止时点为投标截止时间），被列入失信被执行人、重大税收违法案件当事人名单、政府采购严重违法失信行为记录名单的供应商，没有资格参加本项目的采购活动；4）不接受联合体投标；5）单位负责人为同一人或者存在直接控股、管理关系的不同供应商，不得同时参加同一包号的政府采购活动；6）为某一包号提供整体设计、规范编制或者项目管理、监理、检测等服务的供应商，不得再参加该包的其他采购活动；7）必须在线登记获取招标文件，否则没有资格投标。
三、获取招标文件
时间：2022年03月29日 至 2022年04月06日，每天上午8:00至12:00，下午12:00至16:30。 法定节假日除外）
六、
未曾在中国电力招标采购网（www.dlztb.com）上注册会员的单位应先注册。登录成功后根据招标公告的相关说明下载招标文件！项目 联系人：李杨
咨询电话：010-51957458
传真：010-51957412
手机：18811547188
QQ:1211306049
备注：欲购买招标文件的潜在投标人,注册网站并缴纳因特网技术服务费后，查看项目业主，招标公告并下载资格预审范围，资质要求，招标清单，报名申请表等。为保证您能够顺利投标，具体要求及购买标书操作流程按会员区招标信息详细内容为准，以招标业主的解答为准本。
来源：中国电力招标采购网 编辑：mof.go