微孔光刻系统（重新招标）-招标公告

微孔光刻系统（重新招标）项目已具备招标条件。资金来源国拨资金。 （招标代理机构）受中国电子科技集团公司第二十九研究所（招标人）的委托，对该项目进行国际公开招标采购。

1. 招标范围

1.1 货物

1.2 招标编号：0618-224TC229608Y

1.3 技术规格：微孔光刻系统主要用于玻璃微通孔及互连穿孔的加工，具备两个功能单元：玻璃光敏改性曝光单元和微孔双面互连曝光单元。玻璃光敏改性曝光单元，通过玻璃光敏改性曝光单元，采用紫外光对光敏玻璃进行处理，实现玻璃材料局部改性，再通过高温晶化处理，使加工区域同未加工区域在腐蚀过程中具备显著的腐蚀选择比，进而实现高深径比微孔的高精度制备；微孔双面互连曝光单元对微穿孔的焊盘双面进行高精度曝光，形成精密互连结构，实现微穿孔上下电路的垂直互连。

1.4 数量：1套。

1.5 交货期：供货周期不超过16个月，自合同签订之日开始计算。

1.6 项目现场：业主指定地点（四川省成都市）。

1.7 报价要求：国产设备要求报价为设备到达业主安装地点的到货价格；进口设备要求报价为CIP成都价。

2. 对投标人的资格要求

2.1 法人要求：投标人提供有效的营业执照或事业单位法人证书（境内投标人）；投标人提供有效的营业登记等许可经营的证明文件（境外投标人）。

2.2 业绩要求：投标人提供2019年01月01日至今，至少有一个与投标同型号（支持双面对准，对位精度≤0.5µm）的销售案例（销售方不限），提供附有技术条款或技术协议的合同复印件，合同内容应能体现甲乙双方盖章（或签字）页、合同签订时间、标的物名称、技术要求等主要内容。未按上述要求提供的业绩证明均不予认可。

2.3 资信证明：投标人

与中华人民共和国有正常贸易往来的国家或地区的投标人提供由其

2.4 其他要求：国产设备要求由生产厂家自行投标；进口设备可以由生产厂家自行投标，也可以由生产厂家授权代理商进行投标。若由代理商进行投标，则代理商在投标书中必须提供生产厂家的授权证明。

2.5本次招标不接受联合体投标。

2.6投标人必须向招标代理机构

3. 招标文件获取

3.1 凡有意参加投标者，请于2022年 11月 26 日至2022年 12 月 02 日，每日上午9时至17时(北京时间，下同)，

八. 汇款方式

招标代理机构

招标代理机构

账号(人民币):0200049619200362296

账号(美元):778350014863

其他:SWIFT CODE：BKCHCNBJ

2022年11月 25 日