序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
1 | 高压SMU模块任意波形发生器设备 | 1套 | 主要技术指标: 1、包含高压源测量单元模块,电压范围至少包含±3000V,电流测量分辨率≤10fA,电压测量分辨率≤200uV;2、配置高电压模块,支持电压偏置的封装器件和晶圆在片自动电容电压曲线测试,测量范围≥3000V;3、配置超高电流和高电压模块,支持封装器件和晶圆在片的电流电压曲线测试,测量范围≥3000V/500A;4、支持表征氮化镓器件的电流崩塌效应,高电流和高电压模块的切换时间≤20us。 |
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