序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
1 | 200x200研发蒸镀设备 | 1台 | (1)本系统是全自动多腔体AM-OLED蒸镀系统。 (2)本设备采用Cluster方式布局; (3)基板尺寸:200mm×200mm(±0.5mm);厚度:0.4mm~0.7mm;传送,对位及蒸镀且不发生卡pin或破片;FAT验证使用白玻璃尺寸不小于200.0mm×200.0mm,厚度0.5mm。 | 0730-244010020005-02 |
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