序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
1 | 激光直写光刻设备 | 1套 | 主要用于亚微米级、微米级线宽结构及复杂的3D结构制备,如光波导结构、微透镜阵列、衍射光学元件及闪耀光栅等3D灰阶结构。 | |
2 | 电子束光刻机 | 1套 | 主要用于微纳原型器件开发过程中高分辨率图形的曝光,如衍射光栅、光波导、光子晶体等微纳光学结构及超表面结构。 |
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