项目编号 : 0762-2440CBNB2033（CBNB-20242532）
公布日期 : 2024-10-24
受招标人委托对下列产品及服务进行国际公开竞争性招标，于2024年10月24日在 公告。本次招标采用传统招标方式，现邀请合格投标人参加投标。
1. 招标条件
项目概况：甬江实验室因发展需要，需采购半自动槽式SPM清洗机、半自动槽式有机清洗设备、手动片盒清洗机、半自动槽式KOH刻蚀机、半自动槽式BOE刻蚀机各1套。
资金到位或资金来源落实情况：项目所需资金已经落实。
项目已具备招标条件的说明：项目已具备招标条件。
2. 招标内容：
招标项目编号：0762-2440CBNB2033
招标项目名称：甬江实验室采购半自动槽式SPM清洗机等五项设备项目
项目实施
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2
半自动槽式有机清洗设备
1套
主要用于金属刻蚀或其他器件干法刻蚀后光刻胶的去除或清洗工艺。
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3
手动片盒清洗机
1套
对所使用的晶圆片盒进行定期清洗。
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4
半自动槽式KOH刻蚀机
1套
常用于硅片表面V型槽刻蚀、金字塔或者倒金字塔结构刻蚀等应用。
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5
半自动槽式BOE刻蚀机
1套
主要用于半导体器件制造过程中的SiO2 湿法刻蚀以及清洗工艺。
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*备注：投标人必须对表中所有货物进行投标，否则作无效标处理。
3. 投标人资格要求
投标人应具备的资格或业绩：投标人必须是投标产品（半自动槽式SPM清洗机、半自动槽式有机清洗设备、手动片盒清洗机、半自动槽式KOH刻蚀机、半自动槽式BOE刻蚀机）的制造商或投标产品的制造商授权的代理商，如为代理商需提供制造商针对本项目的授权书；
是否接受联合体投标：不接受；
未领购招标文件是否可以参加投标：不可以。
4.
备注：您的权限不能浏览详细内容,非正式会员请联系办理会员入网注册事宜，并缴费成为正式会员后登录网站会员区可查看招标公告、招名方式或下载报名表格等详细内容！为保证您能够顺利投标，具体要求及购买标书操作流程按公告详细内容为准。
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来源：中国电力招标采购网 编辑：cbbiddin