序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
1 | 高精度双轴激光干涉仪 | 1套 | 1、 要求干涉仪的工作激光功率:不低于2mW,其最大驱动电流不低于40mA,可适用于行程大于200mm的位移台。 2、 兼容工作平台行程范围在195mm×195mm内、定位精度达±15 nm的系统。 3、 干涉仪需具备与高速扫描操作和对准误差小于5um的系统兼容性,以确保设备升级后的整体性能符合要求。 4、 最大允许尺寸不大于61 cm×37cm×25 cm(长宽高),易于工业集成。传感器可直接集成到机床,3坐标测量系统及半导体设备等设备上。 5、 可适配双面镜位移台系统,同时所配干涉仪光纤不小于2米,同时要求可集成到第三方软件进行功能命令的调配运行,配合第三方软件的兼容性设计,并保证能顺利完成干涉仪的的信号传输。 | 交货期:合同签订后6个月 最高投标限价:人民币97万元 |
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