序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
1 | 台式微纳结构高速直写系统 | 1套 | 1、 直写 2、 直写光源:直写光源为双光路设计,可以同时实现365nm和405nm波长双光源自动切换,满足多样化光刻胶不同波长光源要求。 3、 直写分辨率模式:0.4μm,0.6μm,1.0μm,2.0μm,和5.0μm共计至少五个直写模式,且5种直写分辨率模式可通过软件自动切换,无需人工切换镜头。 4、 最大加工区域:195mm×195mm,无最小尺寸限制。 5、 设备为台式桌面型设计,主机尺寸:≤70cm×70cm×70cm ,整体占地面积≤120cm×120cm。 | 交货期:合同签订后6个月 最高投标限价:人民币99.5万元 |
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