序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
1 | 曝光模拟软件 | 几何版图修正 1套;修正版图仿真检查 1套 | (1)软件操作截面使用方便简洁,软件不存在卡死时常自动退出等问题,软件异常时能自动保存数据; (2)支持3D 建模功能(特指Topography model); (3)可同时仿真不同跨层叠构图形。 | 0730-244010020048-02 |
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