序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
1 | 磁控溅射 | 1套 | ★1.系统采用304不锈钢或更优材质圆柱体反应腔体,能适用于超高真空环境(真空度≤9×10-9Torr),主腔室尺寸≤500mm高×400mm直径; ★2.腔体底部至少配置8个靶枪接口,至少8个2英寸(使用直径为2英寸的靶材)靶枪的靶位;能够预留不少于1个离轴溅射靶枪接口; ★3.主腔室配置抽速不低于1500l/s的低温泵组,极限真空度≤9×10-9 Torr; 其它具体详见招标文件第八章。 | 预算:人民币叁佰肆拾万元整(¥340万元整) 最高限价:人民币叁佰叁拾叁万贰仟元整(¥333.2万元整) 投标报价超过最高限价作无效投标处理; 交货时间:2026年3月31日前交付。 交货 |
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