序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
1 | 8吋氧化N型炉管 | 3 | 工艺温度范围:900℃-1150℃ | 第二包 |
2 | 8吋栅氧炉管 | 1 | 工艺温度范围:900℃-1050℃ | 第二包 |
3 | 8吋PBY-ANNEAL炉管 | 1 | 工艺温度范围:1050℃-1200℃ | 第二包 |
4 | 8吋BPSG Reflow炉管 | 1 | 工艺温度范围:800℃-1000℃ | 第二包 |
5 | 8吋合金炉管 | 1 | 工艺温度范围:410℃-450℃ | 第二包 |
6 | 8吋PIQ炉管 | 1 | 工艺温度:350℃ | 第二包 |
7 | 8吋卧式炉管清洗设备 | 1 | 一个冲水槽,两个酸槽(HF,HNO3) | 第二包 |
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